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高纯水概述

添加时间:2017-08-02   来源:聚富彩票网官网  来源:

从学术角度讲,高纯水又叫超纯水,是指化学程度极高的水,其主要应用在生物、化学化工、冶金、宇航、电力等领域,
但其对水质要求相当高,所以一般应用最普遍的还是电子行业。例如电力系统所用的高纯水,要求各杂质含量低到“微克/升”
级。在纯水的制作中,水质标准所规定的各项指标应该根据电子元器件的生产工艺而定,但由于微电子技术的复杂性和影响
产品质量的因素繁多,至今尚无一份由工艺实验得到的完整的水质标准。不过近年来电子级水标准也在不断地修订中,而且
高纯水分析领域的许多突破和发展,新仪器和新分析方法的不断应用都为制水工艺的发展创造了条件。
高纯水的国家标准为:GB1146.1-89至GB1146.11-89【168】,目前我国高纯水的标准将电子级水分为五个等级:一级、二级
、三级、四级、五级,该标准是参照ASTM电子级标准而设定的。
高纯水的水质标准中所规定的各项指标的主要依据是:1.微电子工艺对水质的要求;2.制水工艺的水平;3.检测技术的现状。
在高纯水的生产过程中,水中的阴、阳离子可利用电渗析方法、反渗透法、离子交换法等技术去除;水中的颗粒一般可用超
过滤、膜过滤等技术去除;水中的细菌,目前国内多采用加药或紫外灯照射或臭氧杀菌的方法去除;水中的TOC则一般采用
活性炭、反渗透处理。在高纯水的应用领域中,水的纯度直接关系到器件的性能、可靠性、阀值电压,导致低击穿,产生缺
陷,还影响材料的使用寿命,因此高纯水要求具有相当高的纯度和精度。
天然水中的溶解气体主要有氧气、二氧化碳、二氧化硫和少量的甲烷、氡气、氯气等,在高纯水的生产过程中 ,还必须去除
这类气体。为了有效地去除杂质,在生产高纯水的过程中加入了一些化学药剂,如甲醛、双氧水、次氯酸钠等。

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